技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES產(chǎn)品簡介:
測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點:
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號 | PZ-3020MA | ||||
工作臺 | 金屬臺尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y軸運動行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手動Z軸行程(mm) | 120 | ||||
自動Z軸行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
儀器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自動Z軸分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度,單位mm) | ||||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span> | ||||
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡 | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | |||
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900) | |||
單層透明膜厚度測量模組 | |||||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | ||||
厚度測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm |
測量軟件介紹:
(1) 測量元素種類齊全:直接測量12種元素(點、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線)。測量閉合云線的周長,面積及重心,使用三次插值算法,為目前準(zhǔn)測量云線的方法。采樣點越多,越準(zhǔn)確。
(2) *尋邊算法:確保尋邊準(zhǔn)確無誤.亞像素尋邊,精度可達像素的1/10,專業(yè)的專家尋邊模式,或解決打了表面光之后,尋邊困難的問題,通過各種尋邊算法的設(shè)置,可解決各種各樣的尋邊難題,從而準(zhǔn)確的抓取邊界。有自動去毛邊功能,對陰暗不明的邊界一樣可以準(zhǔn)確的找出.
(3) 宏測量功能:宏測量功能就是,將一些測量,構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個按鈕上。點擊按鈕,即開始執(zhí)行宏測量功能,宏測量功能會自動完成構(gòu)造動作,減少用戶操作鼠標(biāo)次數(shù),提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能,用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標(biāo)。
(4) 強大的構(gòu)造功能:軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能,這是軟件的一大特色??蛻粝胍裁唇Y(jié)果,直接點擊相關(guān)按鈕,就可以自動得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法(【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱】、【相交】、【相切】)
(5) 的小R角測量算法:對于大半徑,小弧長的R角,一直是測量界的測量難題,我公司經(jīng)過大量的實驗及算法優(yōu)化,終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線,可解決這一難題.經(jīng)實踐,重復(fù)性可達0.01之內(nèi).
(6) 自動判別測量(自動識別線,圓,弧):只要將鼠標(biāo)放在工件的邊緣上,即可自動尋邊得到線,圓或者弧.
(7) 顯示結(jié)果豐富:對各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個元素進行設(shè)置其顯示信息。也可對同類元素進行設(shè)置.
(8) 超差紅色警示:如果測量結(jié)果超差,會指示是哪項內(nèi)容超差,并將該項顯示成紅色,對應(yīng)的圖形也會變成紅色.
(9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率:下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率,屏幕放大倍率是由軟件自動計算得到的,并能顯示一個像素相當(dāng)于多少mm。
(10) 能建立多重工件坐標(biāo)系:可根據(jù)圖紙建立多重工件座標(biāo)系。實現(xiàn)各坐標(biāo)系的座標(biāo)變換;能方便地實現(xiàn)直角坐標(biāo)系與極坐標(biāo)系之間的相互轉(zhuǎn)換;能實現(xiàn)各工件坐標(biāo)系的存儲和調(diào)用。建立座標(biāo)系后,如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能,十字線會作旋轉(zhuǎn),指示座標(biāo)系的旋轉(zhuǎn)方向
(11) 建立用戶程序方便快捷:可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。
(12) 編輯修改用戶程序,直觀方便:可以刪除,插入任一元素,包括座標(biāo)系??梢圆榭茨硞€元素的尋邊狀況,及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要,可以重新測量一個元素,以改變它的測量方法及環(huán)境。
(13) 機器自動測量過程中可進行手動測量:如果客戶在測量某個,或某幾個元素時,希望手動測量它,而不希望機器自動去測,軟件可以輕松實現(xiàn)。軟件提供了斷點設(shè)置功能,可在要手動測量的元素地方,設(shè)置斷點,則機器運行到該處時,會自動停下來。
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